?? MEMS技術(shù)技術(shù)資料

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本人平時收集的慣性導航算法的論文,對搞導航算法的人很有幫助。 1.易于實現(xiàn)的捷聯(lián)式慣性導航系統(tǒng)仿真.pdf 2.測量運動物體姿態(tài)的三自由度定位算法的研究.pdf 3.基于MEMS 技術(shù)的微型慣性測量組合.pdf 4.基于四元數(shù)的空間全方位算法研究.pdf 5.捷聯(lián)慣導積分算法設計(連載二)...

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選用4000系列BCB材料進行MEMS傳感器的粘接鍵合工藝試驗,解決了圓片級封裝問題,采用該技術(shù)成功加工出具有三層結(jié)構(gòu)的圓片級封裝某種慣性壓阻類傳感器。依據(jù)標準GJB548A對其進行了剪切強度和檢漏測試,測得封裝樣品漏率小于5×10pa·cm3/s,鍵合強度大于49 N,滿足考核要求。...

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