?? MEMS技術資料

?? 資源總數：83
?? 技術文檔：1
?? 源代碼：146
微機電系統(tǒng)（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。

?? MEMS熱門資料

查看全部83個資源 ?

選用4000系列BCB材料進行MEMS傳感器的粘接鍵合工藝試驗，解決了圓片級封裝問題，采用該技術成功加工出具有三層結構的圓片級封裝某種慣性壓阻類傳感器。依據標準GJB548A對其進行了剪切強度和檢漏測試，測得封裝樣品漏率小于5×10pa·cm3／s，鍵合強度大于49 N，滿足考核要求。...

?? ?? leishenzhichui

?? MEMS技術文檔

查看更多 ?

?? MEMS源代碼

查看更多 ?
?? MEMS資料分類