在分析現(xiàn)有的雕刻機(jī)數(shù)控系統(tǒng)優(yōu)缺點基礎(chǔ)上,結(jié)合高速數(shù)控技術(shù)的發(fā)展,提出了基于高性能DSP開發(fā)高性價比的雕刻機(jī)直流伺服控制系統(tǒng)的總體設(shè)計方案。圍繞系統(tǒng)的總體設(shè)計方案,在插補(bǔ)算法研究方面,通過小線段高速加工速度銜接的遞歸數(shù)學(xué)模型的建立和速度輪廓曲線的修正,實現(xiàn)了具有前瞻功能的自適應(yīng)插補(bǔ)算法。為了提高雕刻機(jī)的跟蹤性能和定位精度,在直流伺服控制系統(tǒng)設(shè)計中引入了零相位誤差跟蹤控制器(ZPETC),通過模型辨識、非線性摩擦補(bǔ)償及干擾觀測器的設(shè)計,克服了ZPETC存在的對系統(tǒng)建模誤差和參數(shù)變化敏感的缺點。 在上述研究的基礎(chǔ)上,搭建了以TMS320C2812型32位定點DSP為控制核心、以L6203為功率驅(qū)動模塊、以小功率直流電機(jī)為執(zhí)行機(jī)構(gòu)的二維直流伺服實時運動控制硬件系統(tǒng),且在DSP開發(fā)平臺上完成了系統(tǒng)的所有軟件開發(fā)。為了實現(xiàn)系統(tǒng)對高速數(shù)據(jù)通訊的要求,對DSP串口通訊實時性及提高措施進(jìn)行了深入研究,提出了一種多緩沖區(qū)并行協(xié)作的方法,很好地解決了數(shù)據(jù)的實時通訊問題。系統(tǒng)聯(lián)調(diào)實驗結(jié)果表明:所設(shè)計的雕刻機(jī)直流伺服控制系統(tǒng)運行穩(wěn)定、跟蹤精度高,加工速度快,可廣泛應(yīng)用于數(shù)控雕刻機(jī)產(chǎn)品。
標(biāo)簽: ZPETC 雕刻機(jī) 直流伺服控制
上傳時間: 2013-04-24
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射頻識別技術(shù)是一種自20 世紀(jì)80 年代新興的自動識別技術(shù)。它是利用無線射頻方式進(jìn)行非接觸雙向數(shù)據(jù)通信。相對于普遍應(yīng)用的13.56MHz 射頻識別系統(tǒng),本設(shè)計中的868MHz 射頻識別系統(tǒng)有著更多的優(yōu)點:讀寫距離遠(yuǎn),閱讀速度快等,是目前國際上RFID產(chǎn)品發(fā)展的熱點。 本課題研究的內(nèi)容包括研究符合ISO18000-6 標(biāo)準(zhǔn)的超高頻RFID 電子標(biāo)簽的主要特點、結(jié)構(gòu)、工作原理及讀寫方法, 重點在于與其相應(yīng)讀卡器的設(shè)計方案, 包括讀卡器的硬件電路設(shè)計、軟件程序流程以及與上位機(jī)通信的實現(xiàn)。 在硬件設(shè)計中,選用ATMEL 公司的AVR 單片機(jī)ATmega8 作為主控制器,設(shè)計了主控、復(fù)位、串行通信等電路。并以RFM 公司開發(fā)的TRC101 為射頻收發(fā)芯片進(jìn)行了射頻收發(fā)模塊的設(shè)計。 軟件設(shè)計采用模塊化編程和結(jié)構(gòu)化編程的思想,單片機(jī)編程語言為匯編語言,與上位機(jī)串行通信采用Visual Basic 編程。經(jīng)過測試,誤碼率較低,編制的防沖突程序?qū)崿F(xiàn)了基于隨機(jī)二進(jìn)制算法的防沖突功能。 本設(shè)計具有可靠性高,模塊化設(shè)計等特點,通過驗證,滿足標(biāo)準(zhǔn)要求,達(dá)到了預(yù)期的目的,并證明了本設(shè)計性能的穩(wěn)定性和可靠性。
上傳時間: 2013-04-24
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該文主要研究超聲波電機(jī)的傳動機(jī)理、數(shù)學(xué)模型、結(jié)構(gòu)設(shè)計、驅(qū)動系統(tǒng)和精密伺服系統(tǒng)的理論和實踐,為超聲波電機(jī)的進(jìn)一步研究和產(chǎn)業(yè)化奠定基礎(chǔ).該文主要內(nèi)容和研究成果如下:系統(tǒng)地總結(jié)了國內(nèi)外超聲波電機(jī)的研究歷史、發(fā)展現(xiàn)狀和主要應(yīng)用,研究了超聲波電機(jī)的運行機(jī)理.研制了超聲波電機(jī)專用、高抗干擾能力,高可靠性、兩相正交、正弦超聲波驅(qū)動電源,分別探討了使用串聯(lián)電感和并聯(lián)電感實施負(fù)載阻抗匹配時,電機(jī)性能所受到的影響.研制了利用電機(jī)定子上壓電陶瓷的孤極反饋來進(jìn)行頻率調(diào)整的新型頻率跟蹤控制器,實現(xiàn)了超聲波電機(jī)速度的穩(wěn)定性控制. 實現(xiàn)了超聲波電機(jī)高精度位置檢測,研制了基于DSP的超聲波電機(jī)精密伺服控制系統(tǒng),完成了采用驅(qū)動頻率/相位的P、PI和自適應(yīng)控制方案進(jìn)行精密定位控制的理論探討和實驗研究,井進(jìn)行了模糊控制的理論探討.在理論研究的基礎(chǔ)上,成功地研制了環(huán)形超聲波電機(jī)及其精密定位控制系統(tǒng).單元電機(jī)最大轉(zhuǎn)矩1N. m,控制精度2.16′.
上傳時間: 2013-07-15
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超聲波電機(jī)是上個世紀(jì)八十年代逐步發(fā)展起來的新型微電機(jī)。它利用壓電陶瓷逆壓電效應(yīng)激發(fā)的超聲振動作為驅(qū)動力,通過定轉(zhuǎn)子間的摩擦力來驅(qū)動轉(zhuǎn)子運動。與傳統(tǒng)的電磁馬達(dá)相比,它具有低速大轉(zhuǎn)矩、無電磁干擾、動作相應(yīng)快、運行無噪聲、無輸入時能自鎖等卓越特性,在非連續(xù)運動領(lǐng)域、精密控制領(lǐng)域要比傳統(tǒng)的電磁電機(jī)性能優(yōu)越得多。目前,旋轉(zhuǎn)型超聲波電機(jī),尤其是環(huán)形行波型超聲波電機(jī),在工業(yè)、辦公、過程自動化等領(lǐng)域的伺服系統(tǒng)中作為直接驅(qū)動執(zhí)行器得到廣泛的關(guān)注。 本論文主要研究并設(shè)計了用于超聲波電機(jī)控制驅(qū)動的小型控制系統(tǒng)。其目的是針對市場需要,提供給用戶一種價格較低、體積小、性能指標(biāo)適中,操作簡便,能夠?qū)崿F(xiàn)快速定位,速度可調(diào)節(jié)的標(biāo)準(zhǔn)的閉環(huán)控制器。 控制器的核心為MSP430F167。課題對外圍檢測、控制、驅(qū)動電路進(jìn)行相關(guān)的研究和設(shè)計,并按照控制器的需求設(shè)計相應(yīng)的軟件。最后給出實驗結(jié)果:系統(tǒng)運行穩(wěn)定,速度曲線較為理想,達(dá)到了最初的設(shè)計要求。 系統(tǒng)總結(jié)了超聲波電機(jī)的發(fā)展、特點、分類,通過與傳統(tǒng)電磁電機(jī)的對比給出了超聲波電機(jī)的廣闊的應(yīng)用前景。在此基礎(chǔ)上,指出了超聲波電機(jī)研究的發(fā)展方向,明確了本文的研究內(nèi)容。 總結(jié)了環(huán)形行波型超聲波電機(jī)的結(jié)構(gòu)特點、運行機(jī)理,并在此基礎(chǔ)上總結(jié)了環(huán)形行波型超聲波電機(jī)調(diào)頻、調(diào)相、調(diào)幅等控制方法以及推挽、半橋和全橋驅(qū)動逆變電路的優(yōu)缺點。 本課題設(shè)計了基于超聲波電機(jī)的控制驅(qū)動系統(tǒng)電路。首先,提出了本次設(shè)計的設(shè)計思想及目的;其次,介紹了本設(shè)計的控制器硬件電路具體設(shè)計過程以及調(diào)頻調(diào)速的實現(xiàn)方式。然后,詳細(xì)介紹了該控制系統(tǒng)的軟件構(gòu)成,包括上位機(jī)軟件、下位機(jī)軟件以及通訊部分。詳細(xì)闡述了在本控制系統(tǒng)中的調(diào)速、定位原理。最后通過實驗結(jié)果說明了該小型控制系統(tǒng)的有效性。
上傳時間: 2013-07-18
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傳統(tǒng)污水系統(tǒng)采用繼電器調(diào)節(jié)控制,容易漂移,且不能智能化,無法保證泵站及時可靠運行。而以單片機(jī)為基礎(chǔ)的微型控制機(jī)抗干擾能力差,工作期間調(diào)整點不穩(wěn)定,系統(tǒng)容易死機(jī),需要經(jīng)常到現(xiàn)場服務(wù)調(diào)節(jié),無法及時準(zhǔn)確掌握污水泵站的運行狀態(tài)。采用可編程控制器控制,系統(tǒng)運行可靠,基本可以做到免維護(hù)調(diào)整。 本文針對污水泵站的性能要求和PLC的技術(shù)特點,研究了基于DCS測控系統(tǒng)的控制與管理。該系統(tǒng)是以SIEMENS公司的S7-200系列小型PLC作遠(yuǎn)程終端,以工業(yè)PC機(jī)作上位機(jī)的主從式一點對多點監(jiān)控網(wǎng)絡(luò)。工業(yè)PC機(jī)安裝在污水處理廠的中央控制室,既是泵站PLC的上位機(jī),又是處理廠微機(jī)局域網(wǎng)的一個工作站,通過自定義無線通訊模塊與各泵站實現(xiàn)數(shù)據(jù)通信,并通過時間和事件觸發(fā),計算出最佳的平衡水量和各泵站調(diào)度水量。下位機(jī)PLC安裝在泵站,根據(jù)上位機(jī)的指令控制泵站的水泵和閥門,組成本地數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)。根據(jù)給定的調(diào)度水量,調(diào)整開啟的水泵臺數(shù)和工作時間,達(dá)到調(diào)度水量的目的。 污水泵站管理系統(tǒng)中泵站地理位置分散,處理廠集中進(jìn)行數(shù)據(jù)處理、監(jiān)視。這一特點與DCS系統(tǒng)功能相吻合。從這一意義上來講,集散控制系統(tǒng)能較好地適應(yīng)本系統(tǒng),同時還可以滿足在中心控制室集中顯示、打印、控制各系統(tǒng)的運行狀態(tài)和參數(shù)的要求。系統(tǒng)統(tǒng)一設(shè)計,使其功能合理分配到各子系統(tǒng)中。避免了功能重復(fù)及各系統(tǒng)間的不兼容,這樣使得系統(tǒng)維護(hù)方便,減少了備品備件。給整個泵站運行管理帶來了方便,提高了運行效率,同時也提高了管理效率,減少了泵站現(xiàn)場管理人員,降低了人力資源成本,也大大降低了因為人工管理造成的疏漏,提高了系統(tǒng)的可靠性。
標(biāo)簽: PLC 污水泵站 中的應(yīng)用
上傳時間: 2013-08-05
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微型燃微型燃?xì)廨啺l(fā)電機(jī)組由渦輪機(jī)、壓縮機(jī)、燃燒室、回?zé)崞鳌⑤S承、高速發(fā)電機(jī)、電力變換系統(tǒng)、噴油系統(tǒng)等部分組成。它是一種環(huán)保型發(fā)電裝置,它可用作常規(guī)機(jī)組或緊急備用電源,也可以用于分布式發(fā)電及冷熱電聯(lián)供系統(tǒng)、汽車混合動力系統(tǒng)和微型燃機(jī)-燃料電池聯(lián)合系統(tǒng)等領(lǐng)域。因此,研究這種動力裝置具有很重要的實用意義。 本文在分析了微型燃?xì)廨啺l(fā)電機(jī)組及其控制技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上,根據(jù)設(shè)計要求,機(jī)組控制系統(tǒng)應(yīng)能保證機(jī)組安全穩(wěn)定運行,保證機(jī)組在任何情況下,不發(fā)生超溫、超轉(zhuǎn)現(xiàn)象。同時應(yīng)考慮機(jī)組從點火、加速、直至額定運行過程中,使機(jī)組能夠充分預(yù)熱,以降低對機(jī)組的熱沖擊,提高機(jī)組壽命。機(jī)組轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速達(dá)到95%額定轉(zhuǎn)速后投入按額定轉(zhuǎn)速控制的閉環(huán)控制,保證發(fā)電機(jī)輸出電壓和電力輸出單元穩(wěn)定工作。當(dāng)發(fā)生一般性故障(按給定列表)且為無人職守狀態(tài)時,機(jī)組控制系統(tǒng)應(yīng)正常停車:當(dāng)機(jī)組發(fā)生一般性故障且為有人職守時,機(jī)組控制系統(tǒng)應(yīng)發(fā)出聲光報警。當(dāng)機(jī)組發(fā)生嚴(yán)重故障時機(jī)組控制系統(tǒng)應(yīng)發(fā)出聲光報警并緊急停車。同時還應(yīng)考慮設(shè)置機(jī)組調(diào)試時所需的與其它通信的數(shù)據(jù)接口。提出了微型燃?xì)廨啺l(fā)電機(jī)組控制系統(tǒng)的設(shè)計方案。 根據(jù)確定的方案和工程實際要求,完成了控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)、硬件和軟件的設(shè)計。以西門子S7-300PLC及相關(guān)的開關(guān)量輸入模塊、開關(guān)量輸出模塊、模擬量輸入模塊、模擬量輸出模塊作為發(fā)電機(jī)組的中心控制單元。完成了各PLC模塊硬件連接電路的設(shè)計,以及系統(tǒng)供電電路的設(shè)計,并完成了微型燃機(jī)發(fā)電機(jī)組的起動控制、檢測報警及停車控制的軟件設(shè)計。編程采用梯形圖語言,使程序更具可讀性。 本文采用德國西門子S7-300PLC及配套的I/0卡件作為微型燃機(jī)控制系統(tǒng)的主控制器;選用沈陽工業(yè)大學(xué)研制的全自動浮動式充電器作為電機(jī)的啟動直流電源;采用啟停自鎖邏輯解決了在停車后徹底切斷電瓶負(fù)載的問題。
標(biāo)簽: PLC 發(fā)電機(jī)組 控制系統(tǒng)
上傳時間: 2013-04-24
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文中設(shè)計完成了以數(shù)字信號處理器DSP為控制核心,以智能控制功率模塊IPM為驅(qū)動,以無刷直流電機(jī)作為伺服電機(jī)的一套高性能的電梯門機(jī)交流伺服系統(tǒng)。 論文闡述了設(shè)計的目的,給出了電機(jī)的選擇,介紹了無刷直流電機(jī)的優(yōu)點;說明了門機(jī)運行曲線的形成及加減速運行時按S曲線方式運行的優(yōu)點,并給出了加減速運行時S曲線的具體形成方法;針對門機(jī)控制系統(tǒng)的控制策略進(jìn)行了詳細(xì)的研究,將自適應(yīng)控制理論引入了電梯的門機(jī)控制系統(tǒng)中,并針對模型參考自適應(yīng)控制的方法進(jìn)行了分析,該方法的實施使系統(tǒng)的性能得到了提高。 系統(tǒng)采用TMS320LF2407A作為電梯的門機(jī)控制系統(tǒng)的核心控制器,對TMS320LF2407A作了詳細(xì)的介紹。文中對系統(tǒng)采用了全數(shù)字化設(shè)計,完成了總體硬件電路的設(shè)計,主要包括計算控制電路、信號采集電路、鍵盤輸入及顯示電路、驅(qū)動及保護(hù)電路等,并對每一部分電路的設(shè)計進(jìn)行了具體的說明;驅(qū)動電路選用了智能控制功率模塊IPM,并針對所選模塊進(jìn)行了說明。 在系統(tǒng)軟件設(shè)計中,采用對曲線進(jìn)行離散的方式,給出了門機(jī)運行的參考模型,并根據(jù)采集的信號與參考模型進(jìn)行對比,求出加/減速運行時S曲線實現(xiàn)的補(bǔ)償算法;并針對運行參數(shù)變化的影響,提出了對門機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行自適應(yīng)控制的方法,給出了系統(tǒng)軟件的流程。 通過對系統(tǒng)的硬件及軟件的設(shè)計,實現(xiàn)了對電梯門機(jī)系統(tǒng)安全、可靠、平穩(wěn)控制的目的。
標(biāo)簽: 電梯門 控制系統(tǒng)
上傳時間: 2013-06-22
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本文對模糊溫度控制器進(jìn)行了研究,介紹了模糊溫度控制器的硬件和軟件設(shè)計。此控制器主控部分以Microchip公司的8位單片機(jī)PIC18F252為控制核心,采集測溫電路輸出電壓,實現(xiàn)模糊控制算法等。此單片機(jī)內(nèi)部集成了AD轉(zhuǎn)換模塊,可以直接對信號進(jìn)行采集。測溫電路以Pt100鉑電阻傳感器為基礎(chǔ),并對其進(jìn)行了線性補(bǔ)償。鍵盤、LED顯示部分以美國ATMEL公司生產(chǎn)的低價格,高性能的CMOS 8位單片機(jī)AT89C52為控制核心。兩個單片機(jī)使用串行通訊接口(USART)進(jìn)行數(shù)據(jù)通訊。在軟件方面,以模糊控制為核心控制算法,實現(xiàn)恒溫控制功能,用C語言完成整個控制系統(tǒng)的軟件編程。
上傳時間: 2013-07-29
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近年來,隨著人們生活的改善,機(jī)動車輛得到迅速發(fā)展,其排放的尾氣己造成城市空氣嚴(yán)重污染,一些城市相繼制定法規(guī)限制摩托車和燃油助力車的使用來保護(hù)環(huán)境。于是發(fā)展綠色交通工具已成為一個重要的課題。電動車具有輕便、無污染、低噪音和價格低廉的特點,成為比較理想的交通工具。開關(guān)磁阻電機(jī)的結(jié)構(gòu)簡單、控制靈活、可靠性高、能在較寬的速度范圍內(nèi)高效運行、而且堅固耐用,適合于在惡劣條件下應(yīng)用等特點決定了其非常適合于車輛負(fù)載。 本文主要研究四相8/6極開關(guān)磁阻電機(jī)傳動系統(tǒng)在兩輪電動車中的應(yīng)用,設(shè)計了以AVR單片機(jī)為主控芯片的電動車控制器。1.根據(jù)開關(guān)磁阻電機(jī)的結(jié)構(gòu)和工作原理,建立了SR 電機(jī)的數(shù)學(xué)模型,分析并確定了開關(guān)磁阻電機(jī)的位置信號檢測方法,制定了該系統(tǒng)使用的控制策略:采用轉(zhuǎn)速外環(huán)、電流內(nèi)環(huán)的雙閉環(huán)控制,通過AVR單片機(jī)片內(nèi)定時器/計時器T/C2輸出的PWM斬波調(diào)壓間接地調(diào)節(jié)電流以控制電機(jī)的轉(zhuǎn)速。2.以AVR單片機(jī)為核心,設(shè)計了開關(guān)磁阻電機(jī)控制系統(tǒng)的各硬件電路,主要有電源轉(zhuǎn)換電路和電壓采樣電路、系統(tǒng)功率電路及MOSFET驅(qū)動電路、位置信號檢測電路和電流檢測與保護(hù)電路。3.在硬件電路的基礎(chǔ)上設(shè)計了系統(tǒng)的控制軟件,并對電動車的剎車、過流保護(hù)、欠壓保護(hù)和定速巡航等功能加以改善和提高。最后對所開發(fā)的系統(tǒng)進(jìn)行了調(diào)試,通過實驗得到的速度電流波形證實了該控制器的可行性。
標(biāo)簽: 開關(guān)磁阻電機(jī) 制器設(shè)計 電動車
上傳時間: 2013-07-25
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超聲波電機(jī)(Ultrasonic Motor簡稱USM)是八十年代發(fā)展起來的新型微電機(jī)。本文針對超聲波電機(jī)及其控制技術(shù)的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢,以我國研究技術(shù)相對比較成熟并有產(chǎn)業(yè)化前景的行波超聲波電機(jī)(Traveling-wave Ultrasonic Motor簡稱TUSM)的伺服控制技術(shù)為研究對象,以直徑60mm的行波超聲波電機(jī)TUSM60為研究實例,在特性測試、動穩(wěn)態(tài)性能分析,辨識模型建立、控制策略與控制算法的選擇與實現(xiàn)等方面展開研究。本論具體的研究內(nèi)容為: 在分析超聲波電機(jī)研究歷史和現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上,結(jié)合國內(nèi)外超聲波電機(jī)特別是行波超聲波電機(jī)控制技術(shù)的發(fā)展趨勢,重點論述了行波超聲波電機(jī)及其驅(qū)動控制技術(shù)的研究進(jìn)展。 介紹行波超聲波電機(jī)的基本結(jié)構(gòu),并從該電機(jī)的主要理論基礎(chǔ)--壓電原理、行波合成、接觸模型出發(fā),分析了行波超聲波電機(jī)定子質(zhì)點的運動方程.并結(jié)合定轉(zhuǎn)子摩擦接觸特點,分析了行波超聲波電機(jī)的運行機(jī)理。 根據(jù)對行波超聲波電機(jī)測試和高精度控制的要求,研制出基于雙DSP和FPGA的超聲波電機(jī)高性能測試控制平臺。其中控制核心采用了雙DSP結(jié)構(gòu),可以在對行波超聲波電機(jī)進(jìn)行控制的同時,將必要的參數(shù)讀取出來進(jìn)行分析和研究。為行波超聲波電機(jī)瞬態(tài)特性分析以及控制策略、控制算法的深入研究打下了基礎(chǔ)。 對電機(jī)的瞬態(tài)、穩(wěn)態(tài)特性進(jìn)行的測試,可以分析驅(qū)動頻率、電壓以及相位差等調(diào)節(jié)量對電機(jī)輸出的影響。在此基礎(chǔ)上進(jìn)一步對行波超聲波電機(jī)的調(diào)節(jié)方式、控制算法選擇方面進(jìn)行分析,并得到相應(yīng)結(jié)論。 通過對實驗數(shù)據(jù)的總結(jié)和歸納,利用系統(tǒng)辨識中的非參數(shù)方法,建立在特定頻率條件下的近似線性模型。在行波超聲波電機(jī)工作范圍內(nèi),辨識若干組不同頻率條件下的近似線性模型,將這些模型的參數(shù)進(jìn)行二維或三維擬合,可以得到一個關(guān)于行波超聲波電機(jī)傳遞函數(shù)的模型。辨識模型的建立為合理的選擇和優(yōu)化控制參數(shù),控制效果的驗證等提供了行之有效的手段。 在對行波超聲波電機(jī)的速度控制、位置控制展開的研究中.首先利用遺傳算法對常規(guī)PI恒轉(zhuǎn)速控制的控制參數(shù)整定及修正方法進(jìn)行了研究;利用神經(jīng)元的在線自學(xué)習(xí)能力,研究和設(shè)計單神經(jīng)元PID-PI轉(zhuǎn)速控制器,提高控制系統(tǒng)對電機(jī)非線性和時變性的適應(yīng)能力;為了消除在伺服控制中,單一調(diào)節(jié)量(驅(qū)動頻率)情況下,低轉(zhuǎn)速的跳躍問題,研究和討論了多調(diào)節(jié)量分段控制方法,并利用模糊控制對控制方法的有效性進(jìn)行了驗證;在位置控制中,利用轉(zhuǎn)速控制研究的結(jié)果,研究和設(shè)計了位置--速度雙環(huán)(串級)控制器,實現(xiàn)了電機(jī)高精度位置伺服控制。 通過對已有控制系統(tǒng)的改進(jìn)和簡化,設(shè)計和研制了具有實用化價值行波超聲波電機(jī)控制器:并將研究成果應(yīng)用于針對核磁成像設(shè)備而設(shè)計的行波超聲波電機(jī)隨動控制系統(tǒng)中,同時嘗試了將該控制器用于高精度X-Y兩維定位平臺。
上傳時間: 2013-07-13
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