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電容式微加速度計的氣膜阻尼分析

  • 資源大小:329 K
  • 上傳時間: 2024-04-11
  • 上傳用戶:canderile
  • 資源積分:2 下載積分
  • 標      簽: 電容式 微加速度計 分析

資 源 簡 介

針對電容式微加速度計中的氣膜阻尼問題,基于稀薄氣體動力學理論和滑流修正的壓膜雷諾方程,分析了敏感質量塊在軸向運動中受到的氣膜阻尼效應,得到了阻尼力和阻尼系數的簡化解析解。研究結果表明,敏感質量塊

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