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電容式微加速度計(jì)的氣膜阻尼分析

  • 資源大小:329 K
  • 上傳時(shí)間: 2024-04-11
  • 上傳用戶:canderile
  • 資源積分:2 下載積分
  • 標(biāo)      簽: 電容式 微加速度計(jì) 分析

資 源 簡(jiǎn) 介

針對(duì)電容式微加速度計(jì)中的氣膜阻尼問題,基于稀薄氣體動(dòng)力學(xué)理論和滑流修正的壓膜雷諾方程,分析了敏感質(zhì)量塊在軸向運(yùn)動(dòng)中受到的氣膜阻尼效應(yīng),得到了阻尼力和阻尼系數(shù)的簡(jiǎn)化解析解。研究結(jié)果表明,敏感質(zhì)量塊

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